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高精密滑臺

先進封裝測試老化半導體封裝高精密滑臺芯片測試

高精密滑臺

滑臺組合類型3軸系列

產品特性

? 單向位置重復精度：±50nm
? XYZ有效行程：50(110)/50/50(20)mm
? XYZ推力：26(35)/26/26N
? 最大水平負載可達：6kg/10kg

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