高精密滑臺
滑臺組合類型6軸系列
產品特性
? XYZ單向位置重復精度:±50nm
? XYZ有效行程:50(110)/50(110)/20mm
? θxθyθz單向位置重復精度:±0.003~0.005°
? θxθyθz行程:5~8°
? XYZ推力: 26(35)/26(35)/26N
? 最大水平負載可達:6kg
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